Le microscope électronique à balayage (MEB) est un outil puissant pour diverses applications dans les sciences des matériaux, les sciences de la vie et d'autres domaines. Différents types de détecteurs ont été développés pour obtenir plus d'informations et améliorer les performances du SEM. Voici quelques types courants de détecteurs SEM :
Détecteur d'électrons rétrodiffusés (BSE) : les détecteurs BSE sont utilisés pour détecter les électrons diffusés par les noyaux d'atomes et les éléments à numéro atomique élevé au sein d'une substance. Les détecteurs BSE fournissent des images à contraste élevé qui peuvent être utilisées pour l'analyse de la composition des matériaux et la caractérisation des microstructures.
Détecteur d'électrons secondaires (SE) : Le détecteur SE est utilisé pour détecter des électrons secondaires à la surface d'un matériau excité par un faisceau d'électrons à balayage. Étant donné que la morphologie de la surface et la composition du matériau influencent les électrons secondaires, le détecteur SE fournit une image haute résolution de la topographie de la surface.
Détecteur d'électrons à transmission (TED) : les détecteurs TED sont utilisés pour détecter les électrons de transmission qui traversent une fine feuille de matériau et sont concentrés sur le détecteur. Les détecteurs TED conviennent aux analyses compositionnelles et structurelles à haute résolution des matériaux, par exemple la caractérisation au niveau atomique des nanoparticules.
Spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie (EDS) : les détecteurs EDS sont utilisés pour analyser la composition élémentaire des matériaux. Lorsqu'un faisceau d'électrons à balayage interagit avec un échantillon, des rayons X caractéristiques sont produits et le détecteur EDS collecte et mesure le spectre énergétique de ces rayons X pour déterminer la composition chimique et la distribution élémentaire du matériau.
Détecteur de champ retardateur (RFD) : Le détecteur RFD est utilisé pour mesurer la charge transportée par les électrons générés à la surface de l'échantillon. Ce type de détecteur est très utile pour étudier la conductivité électrique et les propriétés de charge de surface des matériaux.
Ce ne sont là que quelques-uns des détecteurs SEM courants ; en fait, il existe de nombreux autres types de détecteurs, chacun présentant des avantages et des applications différents. Le choix du détecteur approprié dépend des objectifs de l'étude et des informations à obtenir.
Le SEM développé par CIQTEK offre une large gamme de détecteurs parmi lesquels choisir, tels queBSED, STEM, EDS, EDX, EBSD, In-lens, ETD, etc.