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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEM and FIB-SEM), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
fib sem microscopy

FIB-SEM | DB500

Microscope électronique à balayage à émission de champ (FE-SEM) avec colonnes à faisceau d'ions focalisé (FIB)

Le microscope électronique à balayage à faisceau d'ions focalisé CIQTEK DB500 (FIB-SEM) adopte la technologie d'optique électronique « SuperTunnel », une faible aberration et une conception d'objectif non magnétique avec une capacité basse tension et haute résolution pour garantir l’analyse à l’échelle nanométrique. La colonne d'ions fournit une source d'ions de métal liquide Ga+ avec un faisceau d'ions très stable et de haute qualité pour la nanofabrication.

FIB-SEM DB500 dispose d'un nanomanipulateur intégré, d'un système d'injection de gaz, d'un mécanisme électrique anti-contamination pour l'objectif et de 24 ports d'extension, ce qui en fait une plate-forme complète de nano-analyse et de fabrication avec des configurations complètes et une extensibilité. .

CIQTEK DB500 FIB-SEM Caractéristiques <

• Technologie d'optique électronique « SuperTunnel » avec un objectif sans aimant, adapté à l'imagerie haute résolution et compatible avec l'imagerie magnétique des échantillons.

La colonne à faisceau ionique focalisé (FIB) produit un faisceau ionique hautement stable et de haute qualité, adapté à la nanofabrication de haute qualité et à la préparation d'échantillons TEM.

Un manipulateur à entraînement piézoélectrique dans la chambre à spécimen avec un système de contrôle intégré pour une manipulation précise.

Système développé indépendamment avec une forte extensibilité. La conception de l'ensemble de source d'ions intégré pour un échange rapide de source d'ions. Service mondial, garantie de trois ans pour FIB-SEM DB500.

Points forts techniques du CIQTEK DB500 FIB-SEM

FIBSEM DB500 - Focused Ion Beam Column

Faisceau d'ions focalisé (FIB) Colonne

Résolution : 3 nm à 30 kV

Courant de la sonde (plage de courant du faisceau ionique) : 1 pA ~ 50 nA

Plage de tension d'accélération : 0,5 ~ 30 kV

Intervalle d'échange de source d'ions : ≥1000 heures

Stabilité : 72 heures de fonctionnement ininterrompu


FIBSEM DB500 - Nano-manipulator

Nano-manipulateur

Chambre montée à l'intérieur

Trois axes entièrement piézoélectriques

Précision du moteur pas à pas ≤10 nm

Vitesse de déplacement maximale 2 mm/s

Contrôle intégré


FIBSEM DB500 - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Collaboration faisceau d'ions-faisceau d'électrons


FIBSEM DB500 - Gas Injection System

Système d'injection de gaz

Conception SIG unique

Diverses sources de précurseurs de gaz sont disponibles

Distance d'insertion de l'aiguille ≥35 mm

Répétabilité du mouvement ≤10 μm

Répétabilité du contrôle de la température de chauffage ≤0,1°C

Plage de chauffage : Température ambiante ~ 90 °C (194°F)

Contrôle intégré

Spécifications CIQTEK FIB-SEM DB500
Système de faisceau électronique Type de pistolet électronique Pistolet à électrons à émission de champ Schottky haute luminosité
Résolution 1,2 nm à 15 kV
Tension d'accélération 0,02 ~ 30kV
Système de faisceau d'ions Type de source d'ions Source d'ions gallium liquide
Résolution 3 nm à 30 kV
Tension d'accélération 0,5 ~ 30 kV
Chambre à spécimens Système de vide Contrôle entièrement automatique, système de vide sans huile
Caméras

Trois caméras

(Navigation optique + moniteur de chambre x2)

Type d'étape Platine à échantillons eucentrique mécanique à 5 axes
Plage de scène

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T : -10°~+70°, R :360°

Détecteurs et extensions SEM Norme

Détecteur intégré à l'objectif

Détecteur Everhart-Thornley (ETD)

Facultatif

Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED)

Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM)

Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS/EDX)

Diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD)

Nano-manipulateur

Système d'injection de gaz

Nettoyant plasma

Loadlock pour échange d'échantillons

Panneau de commande avec trackball et bouton

Logiciel Langues Anglais
Système d'exploitation Windows
Navigation Nav-Cam, navigation rapide par gestes
Fonctions automatiques Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatisation automatique
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