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MEB haute vitesse | HEM6000

Microscope électronique à balayage à grande vitesse pour l'imagerie à grande échelle de échantillons de grand volume

CIQTEK HEM6000 intègre des technologies telles que le canon à électrons à courant large et à haute luminosité, le système de déviation du faisceau d'électrons à grande vitesse, la décélération de l'étage d'échantillonnage à haute tension, l'axe optique dynamique et l'objectif combiné électromagnétique et électrostatique à immersion. pour obtenir une acquisition d'images à grande vitesse tout en garantissant une résolution à l'échelle nanométrique.

Le processus de fonctionnement automatisé est conçu pour des applications telles qu'un flux de travail d'imagerie haute résolution sur de grandes surfaces plus efficace et plus intelligent. La vitesse d'imagerie peut atteindre plus de 5 fois celle d'un microscope électronique à balayage à émission de champ classique (FESEM).

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HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lit
Basse tension et haute résolution Basse tension et haute résolution Fonctionnement simplifié
Grand champ de vision Divers algorithmes automatisés pour le domaine biologique Options de sélection abondantes
Algorithmes spécialement optimisés pour un alignement facile des échantillons très répétitifs Détecteur ESB optimisé pour les applications biologiques Flux de travail automatisé à grande vitesse
Déviation électrostatique en cinq étapes Système de reconstruction biologique 3D
  • Automatisation à grande vitesse
    Processus de chargement et de déchargement entièrement automatique des échantillons et opération d'acquisition d'images, ce qui rend la vitesse d'imagerie globale 5 fois plus rapide que celle du FESEM conventionnel
  • Grand champ de vision
    La technologie qui décale dynamiquement l'axe optique en fonction de la plage de déviation du balayage permet d'obtenir une distorsion de bord minimale
  • Faible distorsion d'image
    La technologie de décélération en tandem d'étage spécimen permet d'obtenir une faible énergie d'atterrissage, tout en obtenant des images haute résolution

High Speed SEM HEM6000

Spécifications du microscope SEM haute vitesse CIQTEK HEM6000 HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lite
Optique électronique Résolution 1,5 nm à 1 kV SE 1,8 nm à 1 kV ESB 1,5 nm à 15 kV ESB
Tension d'accélération 0,1 kv ~ 6 kV (mode décélération) 6 kV ~ 30 kV (mode sans décélération) 6kV~30kV
Grossissement 66~1 000 000x
Pistolet à électrons Pistolet à électrons à émission de champ Schottky haute luminosité
Type d'objectif Lentille d'objectif combinée électromagnétique et électrostatique à immersion
Déflecteur électrostatique Cinq étapes Quatre étapes Quatre étapes
Système de chargement d'échantillons Système de vide Système de vide entièrement automatique sans huile
Surveillance des échantillons Caméra de surveillance de la chambre principale horizontale ; caméra de surveillance à chambre de sas à échange d'échantillons vertical
Taille maximale de l'échantillon 4 pouces de diamètre
Type de stade d'échantillon Plateforme d'échantillon motorisée à 3 axes (*plateau d'échantillon à entraînement piézoélectrique en option)
Sonde de déplacement de scène de spécimen X, Y : 110 mm ; Z : 16 mm
Répétabilité du stade de l'échantillon Xï¼±0,6 μmï¼Yï¼±0,3 μm
Échange d'échantillons Entièrement automatique
Durée d'échange des échantillons <15 minutes
Nettoyage de la chambre du sas Système de nettoyage au plasma entièrement automatique
Acquisition et traitement d'images Temps de séjour 10 ns/pixel
Vitesse d'acquisition 2*100 Mpixels/s
Taille de l'image 16K*16K
Détecteur et accessoires Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable à faible angle Facultatif Aucun Norme
Détecteur d'électrons rétrodiffusés à faible angle, monté en bas Facultatif Norme Aucun
Détecteur d'électrons global dans la colonne Norme Facultatif Facultatif
Détecteur d'électrons rétrodiffusés à grand angle dans la colonne Facultatif Facultatif Facultatif
Étage d'échantillon à entraînement piézoélectrique Facultatif Facultatif Facultatif
Mode grand champ de vision (SW) haute résolution Facultatif Aucun Aucun
Système de nettoyage au plasma avec chambre Loadlock Facultatif Facultatif Facultatif
Système de chargement d'échantillons de 6 pouces Facultatif Facultatif Facultatif
Plateforme anti-vibration active Facultatif Facultatif Facultatif
Réduction du bruit Al ; Coutures sur une grande surface ; Reconstitution 3D Facultatif Facultatif Facultatif
Interface utilisateur Langue Anglais
OS Windows
Navigation Navigation optique, navigation gestuelle
Fonction automatique Reconnaissance automatique des échantillons, sélection automatique de la zone d'imagerie, luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatiseur automatique
Balises chaudes : résolution du microscope électronique à balayage prix du microscope sem application du microscope électronique à balayage microscopie électronique à balayage pour les nanoparticules grossissement du microscope sem sem esb meilleur microscope électronique à balayage microscope électronique à balayage près de chez moi
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