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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEM and FIB-SEM), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
sem electron microscope

MEB haute vitesse | HEM6000

Microscope électronique à balayage à grande vitesse pour l'imagerie à grande échelle de échantillons de grand volume

CIQTEK HEM6000 intègre des technologies telles que le canon à électrons à grand faisceau à haute luminosité, le système de déviation du faisceau d'électrons à grande vitesse, la décélération de l'étage d'échantillonnage à haute tension, l'axe optique dynamique et l'objectif combiné électromagnétique et électrostatique à immersion pour obtenir des objectifs élevés. -Accédez rapidement des images tout en garantissant une résolution à l'échelle nanométrique.

Le processus de fonctionnement automatisé est conçu pour des applications telles qu'un flux de travail d'imagerie haute résolution sur de grandes surfaces plus efficace et plus intelligent. La vitesse d'imagerie peut atteindre plus de 5 fois plus rapide qu'un microscope électronique à balayage à émission de champ conventionnel (fesem).

Systèmes électro-optiques Résolution 1,3 nm à 3 kV, SE ; 2,2 nm à 1 kV, SE
1,9 nm à 3 kV, ESB ; 3,3 nm à 1 kV, ESB
Grossissement 66 - 1 000 000x
Tension d'accélération 0,1 kV - 6 kV (mode décélération)
6 kV - 30 kV (mode sans décélération)
Pistolet à électrons Pistolet à électrons à émission de champ Schottky haute luminosité
Type d'objectif Lentille d'objectif combinée électromagnétique et électrostatique à immersion
Système de chargement d'échantillons Système de vide Système de vide entièrement automatique sans huile
Surveillance des échantillons Caméra de surveillance de la chambre principale horizontale ; caméra de surveillance à chambre de verrouillage de charge à échange d'échantillons vertical
Taille maximale de l'échantillon 4 pouces de diamètre
Stade spécimen
Type Platine d'échantillon motorisée à 3 axes (*platine d'échantillon à entraînement piézoélectrique en option)
Autonomie de déplacement X, Y : 110 mm ; Z : 28 mm
Répétabilité X : ±0,6 µm ; Y : ±0,3 μm
Échange d'échantillons
Entièrement automatique
Durée d'échange des échantillons ï¼15 min
Nettoyage de la chambre de verrouillage de charge Système de nettoyage au plasma entièrement automatique
Acquisition et traitement d'images Temps de séjour 10 ns/pixel
Vitesse d'acquisition 2*100 Mpixels/s
Taille de l'image 8K*8K
Détecteur et accessoires
Configuration standard Détecteur d'électrons intégré à l'objectif
Configuration facultative
Détecteur d'électrons rétrodiffusés à faible angle
Détecteur d'électrons rétrodiffusés à grand angle dans la colonne
Plateforme d'échantillon à commande piézoélectrique
Mode grand champ de vision (SW) haute résolution
Système de nettoyage au plasma à chambre Loadlock
Système de chargement d'échantillons de 6 pouces
Plateforme anti-vibration active
Réduction du bruit IA ; coutures sur de grandes surfaces ; Reconstitution 3D
Interface utilisateur
Langue Anglais
OS Windows
Navigation Navigation optique, navigation rapide par gestes
Fonction automatique Reconnaissance automatique des échantillons, sélection automatique de la zone d'imagerie, luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatiseur automatique
  • Automatisation à grande vitesse
    Processus de chargement et de déchargement entièrement automatique des échantillons et opération d'acquisition d'images, ce qui rend la vitesse d'imagerie globale 5 fois plus rapide que celle du FESEM conventionnel
  • Grand champ de vision
    La technologie qui décale dynamiquement l'axe optique en fonction de la plage de déviation du balayage permet d'obtenir une distorsion de bord minimale
  • Faible distorsion d'image
    La technologie de décélération en tandem d'étage spécimen permet d'obtenir une faible énergie d'atterrissage, tout en obtenant des images haute résolution

High Speed SEM HEM6000

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