Microscope électronique à balayage à grande vitesse pour l'imagerie à grande échelle de échantillons de grand volume
CIQTEK HEM6000 intègre des technologies telles que le canon à électrons à grand faisceau à haute luminosité, le système de déviation du faisceau d'électrons à grande vitesse, la décélération de l'étage d'échantillonnage à haute tension, l'axe optique dynamique et l'objectif combiné électromagnétique et électrostatique à immersion pour obtenir des objectifs élevés. -Accédez rapidement des images tout en garantissant une résolution à l'échelle nanométrique.
Le processus de fonctionnement automatisé est conçu pour des applications telles qu'un flux de travail d'imagerie haute résolution sur de grandes surfaces plus efficace et plus intelligent. La vitesse d'imagerie peut atteindre plus de 5 fois plus rapide qu'un microscope électronique à balayage à émission de champ conventionnel (fesem).
Temps de séjour 10 ns/pixel, vitesse d'acquisition d'imagerie maximale 2*100 M pixel/s
Systèmes électro-optiques | Résolution | 1,3 nm à 3 kV, SE ; 2,2 nm à 1 kV, SE | |||
1,9 nm à 3 kV, ESB ; 3,3 nm à 1 kV, ESB | |||||
Grossissement | 66 - 1 000 000x | ||||
Tension d'accélération | 0,1 kV - 6 kV (mode décélération) | ||||
6 kV - 30 kV (mode sans décélération) | |||||
Pistolet à électrons | Pistolet à électrons à émission de champ Schottky haute luminosité | ||||
Type d'objectif | Lentille d'objectif combinée électromagnétique et électrostatique à immersion | ||||
Système de chargement d'échantillons | Système de vide | Système de vide entièrement automatique sans huile | |||
Surveillance des échantillons | Caméra de surveillance de la chambre principale horizontale ; caméra de surveillance à chambre de verrouillage de charge à échange d'échantillons vertical | ||||
Taille maximale de l'échantillon | 4 pouces de diamètre | ||||
Stade spécimen |
Type | Platine d'échantillon motorisée à 3 axes (*platine d'échantillon à entraînement piézoélectrique en option) | |||
Autonomie de déplacement | X, Y : 110 mm ; Z : 28 mm | ||||
Répétabilité | X : ±0,6 µm ; Y : ±0,3 μm | ||||
Échange d'échantillons |
Entièrement automatique | ||||
Durée d'échange des échantillons | ï¼15 min | ||||
Nettoyage de la chambre de verrouillage de charge | Système de nettoyage au plasma entièrement automatique | ||||
Acquisition et traitement d'images | Temps de séjour | 10 ns/pixel | |||
Vitesse d'acquisition | 2*100 Mpixels/s | ||||
Taille de l'image | 8K*8K | ||||
Détecteur et accessoires |
Configuration standard | Détecteur d'électrons intégré à l'objectif | |||
Configuration facultative |
Détecteur d'électrons rétrodiffusés à faible angle | ||||
Détecteur d'électrons rétrodiffusés à grand angle dans la colonne | |||||
Plateforme d'échantillon à commande piézoélectrique | |||||
Mode grand champ de vision (SW) haute résolution | |||||
Système de nettoyage au plasma à chambre Loadlock | |||||
Système de chargement d'échantillons de 6 pouces | |||||
Plateforme anti-vibration active | |||||
Réduction du bruit IA ; coutures sur de grandes surfaces ; Reconstitution 3D | |||||
Interface utilisateur |
Langue | Anglais | |||
OS | Windows | ||||
Navigation | Navigation optique, navigation rapide par gestes | ||||
Fonction automatique | Reconnaissance automatique des échantillons, sélection automatique de la zone d'imagerie, luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatiseur automatique |