CIQTEK DB500 est un microscope électronique à balayage à émission de champ avec une colonne à faisceau d'ions focalisé pour l'analyse nanométrique et la préparation d'échantillons, qui est appliqué avec la technologie « SuperTunnel », une faible aberration et une conception d'objectif sans magnétique, avec basse tension et haute résolution. capacité qui garantit sa capacité analytique à l’échelle nanométrique. La colonne d'ions facilite une source d'ions de métal liquide Ga+ avec un faisceau d'ions très stable et de haute qualité pour garantir une capacité de nanofabrication.
Le DB500 est équipé d'un nanomanipulateur intégré, d'un système d'injection de gaz, d'un mécanisme électrique anti-contamination pour l'objectif et de 24 ports d'extension, ce qui en fait une plate-forme complète de nano-analyse et de fabrication avec des configurations complètes et une extensibilité.
• Technologie d'optique électronique « SuperTunnel » avec un objectif sans magnétique, adapté à l'imagerie haute résolution et compatible avec l'imagerie magnétique des échantillons.
• La colonne de faisceau d'ions focalisé qui produit un faisceau d'ions très stable et de haute qualité, adapté à la nano-fabrication de haute qualité et à la préparation d'échantillons TEM.
• Un manipulateur piézoélectrique situé dans la chambre à spécimen avec un système de contrôle intégré pour une manipulation précise.
• Système développé indépendamment avec une forte extensibilité. La conception de l'ensemble de source d'ions intégré pour un échange rapide de source d'ions. Excellent service, soutenu par une garantie incluse de trois ans.
Résolution : 3 nm à 30 KV
Courant de sonde (plage de courant du faisceau ionique) : 1 pA ~ 50 nA
Plage de tension d'accélération : 500 V ~ 30 kV
Intervalle d'échange de source d'ions : ≥1000 heures
Stabilité : 72 heures de fonctionnement ininterrompu
Chambre montée à l'intérieur
Entraînement entièrement piézoélectrique à trois axes
Précision du moteur pas à pas ≤10 nm
Vitesse de déplacement maximale 2 mm/s
Contrôle intégré
Conception SIG unique
Diverses sources de précurseurs de gaz sont disponibles
Distance d'insertion de l'aiguille ≥35 mm
Répétabilité du mouvement ≤10 μm
Répétabilité du contrôle de la température de chauffage ≤0,1°C
Plage de chauffage : température ambiante ~ 90°C
Contrôle intégré
Système de faisceau d'électrons | Type de pistolet à électrons | Pistolet à électrons à émission de champ Schottky haute luminosité |
Résolution | 1,2 nm à 15 kV | |
Tension d'accélération | 20 V ~ 30 kilovolts | |
Système de faisceau d'ions | Type de source d'ions | Source d'ions de gallium liquide |
Résolution | 3 nm à 30 kV | |
Tension d'accélération | 500 V ~ 30 kV | |
Chambre à spécimens | Système de vide | Contrôle entièrement automatique, système de vide sans huile |
Appareils photo |
Trois caméras (Navigation optique + moniteur de chambre x2) |
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Type de scène | Platine d'échantillon eucentrique mécanique à 5 axes | |
Gamme de scène |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T : -10°~+70°, R : 360° |
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Détecteurs et extensions | Standard |
Détecteur intégré à l'objectif Détecteur Everhart-Thornley (ETD) |
Facultatif |
Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED) Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM) Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS) Diagramme de diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD) Nano-manipulateur Système d'injection de gaz Nettoyant plasma Loadlock d'échange de spécimens Panneau de commande avec trackball et bouton |
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Logiciel | Langues | Anglais |
Système opérateur | les fenêtres | |
La navigation | Nav-Cam, navigation rapide par gestes | |
Fonctions automatiques | Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatiseur automatique |