CIQTEK SEM5000X est un microscope électronique à balayage à émission de champ (FE-SEM) ultra haute résolution avec une résolution révolutionnaire de 0,6 nm à 15 kV et 1,0 nm à 1 kV.
Bénéficiant du processus d'ingénierie de colonne amélioré, de la technologie « SuperTunnel » et de la conception d'objectif haute résolution, le SEM5000X peut apporter de nouvelles améliorations en matière de résolution d'imagerie basse tension. Les ports de la chambre d'échantillon s'étendent jusqu'à 16 et le verrouillage de charge d'échange d'échantillon prend en charge une taille de tranche allant jusqu'à 8 pouces (diamètre maximum 208 mm), ce qui élargit considérablement les applications. couverture. Les modes de numérisation avancés et les fonctions automatisées améliorées apportent des performances plus élevées et une expérience encore plus optimisée.
(*Accessoires optionnels)
Paramètres clés | Résolution | 0,6 nm à 15 kV, SE 1,0 nm à 1 kV, SE |
Tension d'accélération | 20 V ~ 30 kV | |
Grossissement | 1 ~ 2 500 000 x | |
Type de pistolet à électrons | Pistolet à électrons à émission de champ Schottky | |
Chambre à spécimens |
Système de vide
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Contrôle entièrement automatisé |
Appareils photo | Double caméras (navigation optique + moniteur de chambre) | |
Type de scène | Platine d'échantillon eucentrique mécanique à 5 axes | |
Gamme de scène | X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T : -10*~+70°, R : 360° |
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Détecteurs et extensions | Standard | Détecteur intégré à l'objectif Détecteur Everhart-Thornley (ETD) |
Facultatif | Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED) Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM) Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS) Diagramme de diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) Loadlock d'échange de spécimens (4" et 8" en option) Trackball et amp; Panneau de commande à boutons Décélération en tandem de l'étage d'échantillon Champ magnétique et amp; Système de protection contre le bruit acoustique (certifié SEMI) |
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Logiciel | Langues | Anglais |
Système opérateur | les fenêtres |
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La navigation | Nav-Cam, navigation rapide par gestes |
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Fonctions automatiques | Luminosité et luminosité automatiques Contraste, mise au point automatique, stigmatiseur automatique |