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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-performance scientific instruments, such as Electron Microscopes, Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance), Gas Adsorption Analyzers, Scanning NV Microscopes, etc.
SEM Imaging analysis with Focused Ion Beam (FIB)
SEM Imaging analysis with Focused Ion Beam (FIB)

Microscope électronique à balayage à faisceau d'ions focalisé | DB500

CIQTEK DB500 est un microscope électronique à balayage à émission de champ avec une colonne à faisceau d'ions focalisé pour l'analyse nanométrique et la préparation d'échantillons, qui est appliqué avec la technologie « SuperTunnel », une faible aberration et une conception d'objectif sans magnétique, avec basse tension et haute résolution. capacité qui garantit sa capacité analytique à l’échelle nanométrique. La colonne d'ions facilite une source d'ions de métal liquide Ga+ avec un faisceau d'ions très stable et de haute qualité pour garantir une capacité de nanofabrication.

 

Le DB500 est équipé d'un nanomanipulateur intégré, d'un système d'injection de gaz, d'un mécanisme électrique anti-contamination pour l'objectif et de 24 ports d'extension, ce qui en fait une plate-forme complète de nano-analyse et de fabrication avec des configurations complètes et une extensibilité.

• Technologie d'optique électronique « SuperTunnel » avec un objectif sans magnétique, adapté à l'imagerie haute résolution et compatible avec l'imagerie magnétique des échantillons.

La colonne de faisceau d'ions focalisé qui produit un faisceau d'ions très stable et de haute qualité, adapté à la nano-fabrication de haute qualité et à la préparation d'échantillons TEM.

Un manipulateur piézoélectrique situé dans la chambre à spécimen avec un système de contrôle intégré pour une manipulation précise.

Système développé indépendamment avec une forte extensibilité. La conception de l'ensemble de source d'ions intégré pour un échange rapide de source d'ions. Excellent service, soutenu par une garantie incluse de trois ans.

Colonne à faisceau d'ions focalisé

Résolution : 3 nm à 30 KV

Courant de sonde (plage de courant du faisceau ionique) : 1 pA ~ 50 nA

Plage de tension d'accélération : 500 V ~ 30 kV

Intervalle d'échange de source d'ions : ≥1000 heures

Stabilité : 72 heures de fonctionnement ininterrompu


Nano-manipulateur

Chambre montée à l'intérieur

Entraînement entièrement piézoélectrique à trois axes

Précision du moteur pas à pas ≤10 nm

Vitesse de déplacement maximale 2 mm/s

Contrôle intégré


 

 

Collaboration faisceau d'ions-faisceau d'électrons

 


Système d'injection de gaz

Conception SIG unique

Diverses sources de précurseurs de gaz sont disponibles

Distance d'insertion de l'aiguille ≥35 mm

Répétabilité du mouvement ≤10 μm

Répétabilité du contrôle de la température de chauffage ≤0,1°C

Plage de chauffage : température ambiante ~ 90°C

Contrôle intégré

Système de faisceau d'électrons Type de pistolet à électrons Pistolet à électrons à émission de champ Schottky haute luminosité
Résolution 1,2 nm à 15 kV
Tension d'accélération 20 V ~ 30 kilovolts
Système de faisceau d'ions Type de source d'ions Source d'ions de gallium liquide
Résolution 3 nm à 30 kV
Tension d'accélération 500 V ~ 30 kV
Chambre à spécimens Système de vide Contrôle entièrement automatique, système de vide sans huile
Appareils photo

Trois caméras

(Navigation optique + moniteur de chambre x2)

Type de scène Platine d'échantillon eucentrique mécanique à 5 axes
Gamme de scène

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T : -10°~+70°, R : 360°

Détecteurs et extensions Standard

Détecteur intégré à l'objectif

Détecteur Everhart-Thornley (ETD)

Facultatif

Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED)

Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM)

Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS)

Diagramme de diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD)

Nano-manipulateur

Système d'injection de gaz

Nettoyant plasma

Loadlock d'échange de spécimens

Panneau de commande avec trackball et bouton

Logiciel Langues Anglais
Système opérateur les fenêtres
La navigation Nav-Cam, navigation rapide par gestes
Fonctions automatiques Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatiseur automatique
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