Microscope électronique à balayage à émission de champ (FE-SEM) avec colonnes à faisceau d'ions focalisé (FIB)
Le microscope électronique à balayage à faisceau d'ions focalisé CIQTEK DB500 (FIB-SEM) adopte la technologie d'optique électronique « SuperTunnel », une faible aberration et une conception d'objectif non magnétique avec une capacité basse tension et haute résolution pour garantir l’analyse à l’échelle nanométrique. La colonne d'ions fournit une source d'ions de métal liquide Ga+ avec un faisceau d'ions très stable et de haute qualité pour la nanofabrication.
FIB-SEM DB500 dispose d'un nanomanipulateur intégré, d'un système d'injection de gaz, d'un mécanisme électrique anti-contamination pour l'objectif et de 24 ports d'extension, ce qui en fait une plate-forme complète de nano-analyse et de fabrication avec des configurations complètes et une extensibilité. .
• Technologie d'optique électronique « SuperTunnel » avec un objectif sans aimant, adapté à l'imagerie haute résolution et compatible avec l'imagerie magnétique des échantillons.
• La colonne à faisceau ionique focalisé (FIB) produit un faisceau ionique hautement stable et de haute qualité, adapté à la nanofabrication de haute qualité et à la préparation d'échantillons TEM.
• Un manipulateur à entraînement piézoélectrique dans la chambre à spécimen avec un système de contrôle intégré pour une manipulation précise.
• Système développé indépendamment avec une forte extensibilité. La conception de l'ensemble de source d'ions intégré pour un échange rapide de source d'ions. Service mondial, garantie de trois ans pour FIB-SEM DB500.
Résolution : 3 nm à 30 kV
Courant de la sonde (plage de courant du faisceau ionique) : 1 pA ~ 50 nA
Plage de tension d'accélération : 0,5 ~ 30 kV
Intervalle d'échange de source d'ions : ≥1000 heures
Stabilité : 72 heures de fonctionnement ininterrompu
Chambre montée à l'intérieur
Trois axes entièrement piézoélectriques
Précision du moteur pas à pas ≤10 nm
Vitesse de déplacement maximale 2 mm/s
Contrôle intégré
Conception SIG unique
Diverses sources de précurseurs de gaz sont disponibles
Distance d'insertion de l'aiguille ≥35 mm
Répétabilité du mouvement ≤10 μm
Répétabilité du contrôle de la température de chauffage ≤0,1°C
Plage de chauffage : Température ambiante ~ 90 °C (194°F)
Contrôle intégré
Spécifications CIQTEK FIB-SEM DB500 | ||
Système de faisceau électronique | Type de pistolet électronique | Pistolet à électrons à émission de champ Schottky haute luminosité |
Résolution | 1,2 nm à 15 kV | |
Tension d'accélération | 0,02 ~ 30kV | |
Système de faisceau d'ions | Type de source d'ions | Source d'ions gallium liquide |
Résolution | 3 nm à 30 kV | |
Tension d'accélération | 0,5 ~ 30 kV | |
Chambre à spécimens | Système de vide | Contrôle entièrement automatique, système de vide sans huile |
Caméras |
Trois caméras (Navigation optique + moniteur de chambre x2) |
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Type d'étape | Platine à échantillons eucentrique mécanique à 5 axes | |
Plage de scène |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T : -10°~+70°, R :360° |
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Détecteurs et extensions SEM | Norme |
Détecteur intégré à l'objectif Détecteur Everhart-Thornley (ETD) |
Facultatif |
Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED) Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM) Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS/EDX) Diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD) Nano-manipulateur Système d'injection de gaz Nettoyant plasma Loadlock pour échange d'échantillons Panneau de commande avec trackball et bouton |
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Logiciel | Langues | Anglais |
Système d'exploitation | Windows | |
Navigation | Nav-Cam, navigation rapide par gestes | |
Fonctions automatiques | Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatisation automatique |
Microscope électronique à balayage à faisceau d'ions focalisé CIQTEK FIB-SEM BD500 |
Démonstration pratique CIQTEK FIB-SEM - Préparation d'échantillons TEM |