FIB-SEM | DB550

Points forts techniques du CIQTEK DB550 FIB-SEM

Semi-conducteur

Dans l'industrie des semi-conducteurs, les puces IC peuvent rencontrer diverses pannes. Diverses méthodes sont utilisées pour analyser les puces afin d'améliorer la fiabilité. En particulier, l'analyse par faisceau d'ions focalisé (FIB) est une technique analytique fiable.

Caractérisation des échantillons / Fabrication de micro-nano / Analyse de coupe transversale / Préparation des échantillons TEM / Analyse des défaillances

Nouvelle industrie énergétique

Observation et analyse des sections transversales des matériaux pour la recherche et le développement de procédés.

Observation de la morphologie/analyse granulométrique/analyse transversale / Analyse de la composition et des phases/analyse des défaillances du matériau de la batterie lithium-ion/échantillon TEM Préparation

Matériau céramique

Analyse des matériaux : le système FIB-SEM peut effectuer un usinage micro-nano et une imagerie de haute précision de matériaux céramiques, combinés à divers modes de détection de signaux tels que les électrons rétrodiffusés (BSE), la spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDX). , le diagramme de diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) et la spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS), pour étudier le matériau à l'échelle micro à nanométrique avec un espace tridimensionnel en profondeur.

Matériau en alliage

Pour augmenter la résistance, la dureté, la ténacité, etc. des métaux, d'autres substances telles que des céramiques, des métaux, des fibres, etc., sont ajoutées au métal à l'aide de méthodes telles que la métallurgie, la coulée, l'extrusion, etc., qui sont appelées phases renforcées.

L'échantillon TEM préparé par un FIB-SEM est utilisé pour observer des informations telles que les phases renforcées et les atomes limites via des signaux électroniques transmis. Les échantillons TEM peuvent être utilisés pour l'analyse par transmission Kikuchi Diffraction (TKD), l'analyse métallographique, l'analyse de composition et les tests in situ de la section transversale de l'alliage.

ⶠInterface utilisateur graphique

Plate-forme d'interface utilisateur hautement intégrée

Les fonctions d'imagerie et de traitement du microscope SEM sont intégrées dans une interface utilisateur globale, avec des références comparatives affichées à gauche et à droite.

Accessoires matériels et interfaces utilisateur auto-développés tels que le système d'injection de gaz et le nanomanipulateur, conception intuitive de la disposition pour une utilisation facile.

ⶠDétecteur Everhart-Thornley (ETD)

ⶠDétecteur d'électrons intégré à l'objectif

ⶠDétecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED) *En option

ⶠDétecteur de microscopie électronique à transmission par balayage (STEM) *En option