CIQTEK lance une solution à double faisceau pour plaquettes de 8 pouces pour une observation grandeur nature, une découpe de précision et un traitement complet

À mesure que la fabrication de semi-conducteurs progresse vers des nœuds de processus plus fins, l'analyse des défauts au niveau de la plaquette, la localisation des défaillances et la fabrication micro-nano sont devenues essentielles pour améliorer le rendement. CIQTEK présente le Solution de traitement pleine grandeur à double faisceau pour plaquettes de 8 pouces , combinant une imagerie haute résolution et un traitement précis par faisceau d'ions pour réaliser une « observation-analyse-découpe » sur l'ensemble de la plaquette, offrant un support technique solide pour les processus avancés de semi-conducteurs.

Cette solution est équipée d'une platine porte-échantillon haute précision à grande course de 150 mm, permettant l'observation et le traitement non destructifs de wafers entiers de 8 pouces. Grâce à un système de navigation optique externe et à des algorithmes anticollision intelligents, elle garantit un positionnement rapide et précis des wafers et un fonctionnement sûr. Le système est équipé d'un canon à électrons à émission de champ Schottky, offrant une résolution de 0,9 nm à 15 kV et une résolution de faisceau d'ions de 3 nm à 30 kV, permettant la détection de défauts, le découpage de sections transversales et la fabrication de microstructures à l'échelle nanométrique.

Principaux avantages :

• Étage de déplacement de 150 mm :

• • Combine une longue course avec une haute précision pour une plage d'observation étendue.

  • Excellente compatibilité avec des luminaires de différentes tailles.

  • La structure robuste assure la stabilité des plaquettes et un chargement rapide et fiable.

• Échange rapide de 8 pouces :

  • Conception intelligente de support de poids avec une base coulissante pour plus de stabilité et de durabilité.

  • Compatibilité pleine taille : prend en charge les plaquettes de 2/4/6/8 pouces.

  • Échange rapide d'échantillons : pompage sous vide et chargement d'échantillons en une minute.

• Logiciel et anti-collision :

• • Navigation intelligente entièrement automatique avec mouvement et positionnement précis.

  • Mouvement coordonné multi-axes pour l'observation de la plaquette entière.

  • Anti-collision intelligente : Simulation de trajectoire et calculs spatiaux algorithmiques pour éviter les risques.

  • Surveillance multiple en temps réel : Surveillance multi-angle en temps réel de la position de la plaquette.

• Navigation optique externe :

  • La conception de la structure ultra-stable supprime les tremblements de l'image.

  • Imagerie haute définition avec un champ de vision précis pour un affichage sur toute la plaquette.

  • L'éclairage antireflet professionnel réduit la réflexion de la surface des plaquettes.

Plage d'observation des plaquettes

Solution de microscope électronique à double faisceau CIQTEK combine un matériel exceptionnel avec des systèmes logiciels intelligents, permettant une détection efficace des défauts et une optimisation des processus grâce au réglage de la luminosité et du contraste en un clic, à la mise au point automatique et à la sortie d'image multiformat, permettant aux utilisateurs de réaliser la chaîne complète des tâches, de la découverte des défauts à l'optimisation des processus.