fesem edx

Ultra-High Ressem | SEM5000X

Microscopie électronique à balayage d'émission de champ ultra-élevé (FESEM)

Le Ciqtek SEM5000X est un FESEM à ultra-haute résolution avec une conception optimisée de colonne d'optique électronique, réduisant les aberrations globales de 30%, atteignant une résolution ultra-élevée de 0,6 nm à 15 kV et 1,0 nm à 1 kV Sa haute résolution et sa stabilité le rendent avantageux dans la recherche avancée en matières de matériaux nano-structurales, ainsi que dans le développement et la fabrication de puces IC semi-conductrices de nœuds de haute technologie.

●–¶ Optique électronique

SEM5000X Electron Optics

Mise à niveau objectif de l'objectif

L'aberration chromatique de la lentille a été réduite de 12%, l'aberration sphérique de la lentille a été réduite de 20% et l'aberration globale a été réduite de 30%

SEM5000X Electron Optics

Technologie de décélération à double faisceau

Décélération du faisceau dans l'objectif, applicable aux échantillons avec de grands volumes, des coupes transversales et des surfaces irrégulières La technologie de double décélération (décélération du faisceau en objectif + étage d'échantillon de décélération du faisceau en tandem) remet en question les limites des scénarios de capture de signal de surface de l'échantillon


●–¶ Images haute résolution basse tension


●–¶ Détecteur / échantillon d'électrons en objectif


●–¶ Détecteur Everhart-Thornley (ETD)


●–¶ Détecteur d'électrons à éteinte arrière rétractable (BSED)*Facultatif

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

●–¶ Mode ECCI basé sur BSED (Imagerie de contraste de canalisation d'électrons)

L'effet de la canalisation des électrons fait référence à une réduction significative de la diffusion des électrons par des réseaux cristallins, lorsque le faisceau d'électrons incident satisfait la condition de diffraction de Bragg, permettant à un grand nombre d'électrons de passer par le réseau, présentant ainsi un effet de "canalisation"

Pour les matériaux polycristallins avec une composition uniforme et des surfaces plates polies, l'intensité des électrons rétrodiffusés repose sur l'orientation relative entre le faisceau d'électrons incident et les plans en cristal Les grains avec une plus grande variation d'orientation présentent des signaux plus forts donc des images plus lumineuses, une caractérisation qualitative avec une telle carte d'orientation des grains est obtenue


●–¶ Imagerie multicanal simultanée via divers détecteurs


●–¶ Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> plusieurs modes de fonctionnement: Imagerie à champ vif (BF), imagerie à champ noir (DF), imagerie à champ noir annulaire à angle élevé (HAADF)


●–¶ Progrès en microscopie électronique CIQTEK - Plus d'options

>> spectrométrie dispersive d'énergie

  • Energy Dispersive Spectrometry

>>Catholuminescence

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

>>EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

●–¶ Logiciel d'analyse des particules et des pores (particule) *Facultatif

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

Le logiciel de microscope CIQTEK SEM utilise divers algorithmes de détection et de segmentation cibles, adaptés à différents types d'échantillons de particules et de pores Il permet une analyse quantitative des statistiques des particules et des pores et peut être appliquée dans des domaines tels que la science des matériaux, la géologie et les sciences de l'environnement


●–¶ Logiciel d'image de post-traitement*Facultatif

SEM Microscope Image Post-processing Software

Effectuer un post-traitement des images en ligne ou hors ligne sur les images capturées par les microscopes électroniques et intégrer les fonctions de traitement d'image EM couramment utilisées, les outils de mesure pratiques et d'annotation


●–¶ Mesure automatique *Facultatif

SEM Microscope software Auto Measure

Reconnaissance automatique des bords de largeur de ligne, entraînant des mesures plus précises et une cohérence plus élevée Prise en charge de plusieurs modes de détection de bord, tels que la ligne, l'espace, la hauteur, etc compatibles avec plusieurs formats d'image et équipés de diverses fonctions de post-traitement d'image couramment utilisées Le logiciel est facile à utiliser, efficace et précis


●–¶ Kit de développement de logiciels (SDK) *Facultatif

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Fournir un ensemble d'interfaces pour contrôler le microscope SEM, y compris l'acquisition d'images, les paramètres des conditions de fonctionnement, la mise sous tension / désactivation, le contrôle de la scène, etc Les définitions d'interface concises permettent le développement rapide de scripts de fonctionnement et de logiciels de microscope électronique spécifiques, permettant un suivi automatisé des régions d'intérêt, une acquisition de données d'automatisation industrielle, des corrections de dérive d'images et d'autres fonctions Peut être utilisé pour le développement de logiciels dans des domaines spécialisés tels que l'analyse des diatomées, l'inspection des impuretés en acier, l'analyse de la propreté, le contrôle des matières premières, etc


●–¶ Automalie *Facultatif

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK SEM5000X Spécifications du microscope FESEM
Optique électroniqueRésolution0,6 nm à 15 kV, SE
1,0 nm @ 1 kV, SE
Tension d'accélération0 02kV ~ 30 kV
Grossissement1 ~ 2 500 000 x
Type de pistolet électroniquePistolet d'électrons d'émission de champ Schottky
Chambre d'échantillonsCamérasDouble caméras (navigation optique + moniteur de chambre)
Type de scèneÉtape d'échantillon d'eucentnt mécanique à 5 axes
GammeX = 110 mm, y = 110 mm, z = 65 mm
T: -10 * ~ + 70 °, R: 360 °
Détecteurs et extensions SEMStandardDétecteur d'objectif
Détecteur Everhart-Thornley (ETD)
Facultatif

Détecteur d'électrons à éteinte arrière rétractable (BSED)

Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (tige)

Détecteur à faible vide (LVD)

Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS / EDX)

Modèle de diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD)

Échange d'échanges de chargement (4 pouces / 8 pouces)

Panneau de commande de trackball et bouton

Mode duo-Dec (Duo-Dec)

Interface utilisateurLanguesAnglais
Système opérateurFenêtre
NavigationNavigation optique, navigation rapide en geste, trackball (facultatif)
Fonctions automatiquesLuminosité et contraste automatique, focus automatique, stigmator automatique

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