fesem edx

FESEM ultra haute résolution | SEM5000X

Microscopie électronique à balayage par émission de champ ultra haute résolution (FESEM) : 0,6 nm à 15 kV et 1,0 nm à 1 kV

Le FESEM ultra haute résolution CIQTEK SEM5000X utilise le processus d'ingénierie de colonne amélioré, la technologie « SuperTunnel » et la conception d'objectif haute résolution pour améliorer la résolution d'imagerie basse tension.

Les ports de la chambre à échantillons FESEM SEM5000X s'étendent jusqu'à 16 et le verrouillage de charge d'échange d'échantillons prend en charge une taille de tranche allant jusqu'à 8 pouces (diamètre maximum 208 mm), élargissant considérablement les applications. Les modes de numérisation avancés et les fonctions automatisées améliorées offrent des performances plus élevées et une expérience encore plus optimisée.

Spécifications CIQTEK FESEM SEM5000X

Paramètres clés Résolution

0,6 nm à 15 kV, SE

1,0 nm à 1 kV, SE

Tension d'accélération 0,02 ~ 30kV
Grossissement 1~2 500 000x
Type de pistolet électronique Pistolet à électrons à émission de champ Schottky
Chambre à spécimens
Système de vide
Contrôle entièrement automatisé
Caméras Double caméras (navigation optique + moniteur de chambre)
Type d'étape Platine d'échantillon eucentrique mécanique à 5 axes
Plage de scène

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T : -10*~+70°, R : 360°

Détecteurs et extensions SEM Norme

Détecteur intégré à l'objectif

Détecteur Everhart-Thornley (ETD)

Facultatif

Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED)

Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM)

Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS/EDX)

Diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD)

Loadlock pour échange d'échantillons (4" et 8" en option)

Panneau de commande avec trackball et boutons

Décélération en tandem d'étape d'échantillon

Système de protection contre les champs magnétiques et le bruit acoustique (certifié SEMI)

Logiciel Langues

Anglais

Système d'exploitation

Windows

Navigation

Nav-Cam, navigation rapide par gestes

Fonctions automatiques

Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatisation automatique

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