Microscopie électronique à balayage par émission de champ ultra haute résolution (FESEM) : 0,6 nm à 15 kV et 1,0 nm à 1 kV
Le FESEM ultra haute résolution CIQTEK SEM5000X utilise le processus d'ingénierie de colonne amélioré, la technologie « SuperTunnel » et la conception d'objectif haute résolution pour améliorer la résolution d'imagerie basse tension.
Les ports de la chambre à échantillons FESEM SEM5000X s'étendent jusqu'à 16 et le verrouillage de charge d'échange d'échantillons prend en charge une taille de tranche allant jusqu'à 8 pouces (diamètre maximum 208 mm), élargissant considérablement les applications. Les modes de numérisation avancés et les fonctions automatisées améliorées offrent des performances plus élevées et une expérience encore plus optimisée.
(*Accessoires en option pour FESEM SEM5000X)
Spécifications CIQTEK FESEM SEM5000X |
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Paramètres clés | Résolution |
0,6 nm à 15 kV, SE 1,0 nm à 1 kV, SE |
Tension d'accélération | 0,02 ~ 30kV | |
Grossissement | 1~2 500 000x | |
Type de pistolet électronique | Pistolet à électrons à émission de champ Schottky | |
Chambre à spécimens |
Système de vide
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Contrôle entièrement automatisé |
Caméras | Double caméras (navigation optique + moniteur de chambre) | |
Type d'étape | Platine d'échantillon eucentrique mécanique à 5 axes | |
Plage de scène |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T : -10*~+70°, R : 360° |
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Détecteurs et extensions SEM | Norme |
Détecteur intégré à l'objectif Détecteur Everhart-Thornley (ETD) |
Facultatif |
Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED) Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM) Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS/EDX) Diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD) Loadlock pour échange d'échantillons (4" et 8" en option) Panneau de commande avec trackball et boutons Décélération en tandem d'étape d'échantillon Système de protection contre les champs magnétiques et le bruit acoustique (certifié SEMI) |
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Logiciel | Langues |
Anglais |
Système d'exploitation |
Windows |
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Navigation |
Nav-Cam, navigation rapide par gestes |
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Fonctions automatiques |
Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatisation automatique |