CIQTEK lance une solution d'inspection de plaquettes de 12 pouces pour une analyse non destructive et à haute résolution en couverture complète
CIQTEK lance une solution d'inspection de plaquettes de 12 pouces pour une analyse non destructive et à haute résolution en couverture complète
September 22, 2025
CIQTEK
a présenté sa nouvelle génération
Plaquette de 12 pouces
microscope électronique à balayage (MEB)
solution
Conçue pour répondre aux exigences des procédés de fabrication avancés de semi-conducteurs, cette solution innovante permet une inspection complète de la plaquette sans rotation ni inclinaison et garantit une analyse non destructive haute résolution pour soutenir le développement des procédés critiques.
Equipé d'un
scène de voyage ultra-large
(X/Y ≥ 300 mm), le système assure une couverture complète des plaquettes de 12 pouces, éliminant ainsi le besoin de découpe ou de transfert d'échantillons. Ceci garantit une observation fidèle de la taille et de la position d'origine. Avec un
Canon à électrons à émission de champ Schottky
, il atteint une résolution de
1,0 nm
à 15 kV et 1,5 nm à 1 kV, minimisant les dommages causés par le faisceau d'électrons, ce qui le rend idéal pour les matériaux et structures sensibles.
Caractéristiques principales
inclure:
Scène de voyage ultra-large
(X/Y > 300 mm) pour l'inspection complète des plaquettes
Imagerie haute résolution
: 1,0 nm à 15 kV et 1,5 nm à 1 kV
Chargement automatisé
et
système de navigation optique
pour un échange rapide des plaquettes et un positionnement précis
Logiciel intelligent
pour la mise au point automatique, la correction de l'astigmatisme et la sortie d'image multiformat
Le microscope électronique à balayage (MEB) d'inspection de plaquettes de 12 pouces de CIQTEK est plus qu'un simple outil d'observation ; c'est un instrument essentiel permettant d'obtenir des rendements plus élevés et des nœuds plus petits dans la fabrication de semi-conducteurs.
26-30 septembre, Wuhan
CIQTEK dévoilera
huit solutions de microscopie électronique de pointe
au
Conférence nationale chinoise sur la microscopie électronique 2025
!
Géorgie + Microscope électronique à balayage à émission de champ à faisceau d'ions focalisés Le Microscope électronique à balayage à faisceau d'ions focalisés (FIB-SEM) CIQTEK DB550 Il est équipé d'une colonne à faisceau ionique focalisé pour la nanoanalyse et la préparation d'échantillons. Il utilise la technologie d'optique électronique « super tunnel », une faible aberration et un objectif amagnétique, et sa fonction « basse tension et haute résolution » garantit ses capacités d'analyse à l'échelle nanométrique. Les colonnes d'ions facilitent une Ga + Source d'ions métalliques liquides avec faisceaux d'ions hautement stables et de haute qualité pour garantir la nanofabrication. Le DB550 est une station de travail tout-en-un pour la nanoanalyse et la fabrication, dotée d'un nanomanipulateur intégré, d'un système d'injection de gaz et d'une interface utilisateur intuitive.
Microscopie électronique à balayage à émission de champ à ultra-haute résolution (FESEM) Le CIQTEK SEM5000X Il s'agit d'un microscope électronique à fluorescence à ultra-haute résolution (FESEM) doté d'une conception optimisée de la colonne optique électronique, réduisant les aberrations globales de 30 %, pour une résolution ultra-élevée de 0,6 nm à 15 kV et 1,0 nm à 1 kV. Sa haute résolution et sa stabilité en font un outil précieux pour la recherche sur les matériaux nanostructuraux avancés, ainsi que pour le développement et la fabrication de puces semi-conductrices de haute technologie.
Ultra haute résolution Microscope électronique à balayage à filament de tungstène Le CIQTEK SEM3300 Microscope électronique à balayage (MEB) Il intègre des technologies telles que l'optique électronique « Super-Tunnel », les détecteurs d'électrons intégrés à la lentille et les objectifs composés électrostatiques et électromagnétiques. En appliquant ces technologies au microscope à filament de tungstène, la limite de résolution historique de ce type de microscope est dépassée, permettant ainsi à ce dernier d'effectuer des analyses basse tension auparavant réservées aux microscopes à émission de champ.