fesem edx

FESEM ultra haute résolution | SEM5000X

La microscopie électronique à balayage par émission de champ à ultra haute résolution (FESEM) reprend les limites

Le CIQTEK SEM5000X est un FESEM ultra haute résolution avec une conception de colonne d'optique électronique optimisée, réduisant les aberrations globales de 30 %, atteignant une ultra haute résolution de 0,6 nm à 15 kV et 1,0 nm à 1 kV. . Sa haute résolution et sa stabilité le rendent avantageux dans la recherche avancée sur les matériaux nanostructuraux, ainsi que dans le développement et la fabrication de puces IC à semi-conducteurs à nœuds de haute technologie.

ⶠOptique électronique

SEM5000X Electron Optics

Mise à niveau de l'objectif

L'aberration chromatique de l'objectif a été réduite de 12 %, l'aberration sphérique de l'objectif a été réduite de 20 % et l'aberration globale a été réduite de 30 %.

SEM5000X Electron Optics

Technologie de décélération à double faisceau

Délération du faisceau dans la lentille, applicable aux échantillons présentant de grands volumes, sections transversales et surfaces irrégulières. La technologie de double décélération (décélération du faisceau dans l'objectif + décélération du faisceau tandem au niveau de l'échantillon) repousse les limites des scénarios de capture de signaux à la surface des échantillons.


ⶠImages haute résolution basse tension


ⶠDétecteur d'électrons/échantillon intégré à la lentille


ⶠDétecteur Everhart-Thornley (ETD)


ⶠDétecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED) *En option

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

ⶠMode ECCI basé sur BSED (Electron Channeling Contrast Imaging)

L'« effet de canalisation des électrons » fait référence à une réduction significative de la diffusion des électrons par les réseaux cristallins, lorsque le faisceau d'électrons incident satisfait à la condition de diffraction de Bragg, permettant à un grand nombre d'électrons de traverser le réseau, présentant ainsi une « canalisation ». effet.

Pour les matériaux polycristallins de composition uniforme et de surfaces planes polies, l'intensité des électrons rétrodiffusés dépend de l'orientation relative entre le faisceau d'électrons incident et les plans cristallins. Les grains avec une plus grande variation d'orientation présentent des signaux plus forts, donc des images plus lumineuses, une caractérisation qualitative avec une telle carte d'orientation des grains est obtenue.


ⶠImagerie multicanal simultanée via divers détecteurs


ⶠDétecteur rétractable pour microscopie électronique à transmission et balayage (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

Plusieurs modes de fonctionnement : Imagerie en champ clair (BF), Imagerie en champ sombre (DF), Imagerie en champ sombre annulaire à grand angle (HAADF)


ⶠProgrès de la microscopie électronique CIQTEK - Plus d'options

Spectrométrie à dispersion d'énergie

  • Energy Dispersive Spectrometry

Catholuminescence

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

ⶠLogiciel d'analyse des particules et des pores (particules) *En option

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

Le logiciel du microscope CIQTEK SEM utilise divers algorithmes de détection et de segmentation de cibles, adaptés à différents types d'échantillons de particules et de pores. il permet une analyse quantitative des statistiques sur les particules et les pores et peut être appliqué dans des domaines tels que la science des matériaux, la géologie et les sciences de l'environnement.


ⶠLogiciel de post-traitement d'image *En option

SEM Microscope Image Post-processing Software

Effectuez un post-traitement d'image en ligne ou hors ligne sur des images capturées par des microscopes électroniques et intégrez des fonctions de traitement d'image EM couramment utilisées, des outils de mesure et d'annotation pratiques.


ⶠMesure automatique *En option

SEM Microscope software Auto Measure

Reconnaissance automatique des bords de largeur de ligne, ce qui entraîne des mesures plus précises et une plus grande cohérence. Prend en charge plusieurs modes de détection de bords, tels que Ligne, Espace, Pas, etc. Compatible avec plusieurs formats d'image et équipé de diverses fonctions de post-traitement d'image couramment utilisées. Le logiciel est facile à utiliser, efficace et précis.


ⶠKit de développement logiciel (SDK) *En option

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Fournir un ensemble d'interfaces pour contrôler le microscope SEM, y compris l'acquisition d'images, les paramètres de conditions de fonctionnement, la mise sous/hors tension, le contrôle de scène, etc. Des définitions d'interface concises permettent le développement rapide de scripts et de logiciels de fonctionnement spécifiques au microscope électronique, permettant suivi automatisé des régions d'intérêt, acquisition de données d'automatisation industrielle, correction de la dérive d'image et autres fonctions. Peut être utilisé pour le développement de logiciels dans des domaines spécialisés tels que l'analyse des diatomées, l'inspection des impuretés de l'acier, l'analyse de la propreté, le contrôle des matières premières, etc.


ⶠAutoMap *Facultatif

FESEM Microscope software Auto Measure

Spécifications du microscope CIQTEK SEM5000X FESEM
Optique électronique Résolution 0,6 nm à 15 kV, SE
1,0 nm à 1 kV, SE
Tension d'accélération 0,02kV ~30kV
Grossissement 1 ~ 2 500 000x
Type de pistolet électronique Pistolet à électrons à émission de champ Schottky
Chambre à spécimens Caméras Double caméras (navigation optique + moniteur de chambre)
Type d'étape Platine d'échantillon eucentrique mécanique à 5 axes
Plage de scène X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T : -10*~+70°, R : 360°
Détecteurs et extensions SEM Norme Détecteur intégré à l'objectif
Détecteur Everhart-Thornley (ETD)
Facultatif

Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED)

Détecteur de microscopie électronique à transmission à balayage rétractable (STEM)

Détecteur de faible vide (LVD)

Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS / EDX)

Diffraction de rétrodiffusion électronique (EBSD)

Loadlock d'échange de spécimens (4 pouces / 8 pouces)

Panneau de commande avec trackball et boutons

Mode Duo-Dec (Duo-Dec)

Interface utilisateur Langues Anglais
Système d'exploitation Windows
Navigation Navigation optique, navigation rapide par gestes, trackball (en option)
Fonctions automatiques Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatisation automatique

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