Microscopie électronique à balayage à émission de champ à ultra-haute résolution (FESEM)
Le CIQTEK SEM5000X Il s'agit d'un microscope électronique à fluorescence à ultra-haute résolution (FESEM) doté d'une conception optimisée de la colonne optique électronique, réduisant les aberrations globales de 30 %, pour une résolution ultra-élevée de 0,6 nm à 15 kV et 1,0 nm à 1 kV. Sa haute résolution et sa stabilité en font un outil précieux pour la recherche sur les matériaux nanostructuraux avancés, ainsi que pour le développement et la fabrication de puces semi-conductrices de haute technologie.
(*Facultatif)
Mise à niveau de l'objectif
L'aberration chromatique de l'objectif a été réduite de 12 %, l'aberration sphérique de l'objectif a été réduite de 20 % et l'aberration globale a été réduite de 30 %.
Technologie de décélération à double faisceau
Décélération du faisceau dans la lentille, applicable aux échantillons de grands volumes, sections transversales et surfaces irrégulières. La technologie de double décélération (décélération du faisceau dans la lentille + décélération du faisceau en tandem sur la platine de l'échantillon) repousse les limites de la capture du signal de surface de l'échantillon.
L'« effet de canalisation d'électrons » fait référence à une réduction significative de la diffusion des électrons par les réseaux cristallins, lorsque le faisceau d'électrons incident satisfait la condition de diffraction de Bragg, permettant à un grand nombre d'électrons de traverser le réseau, présentant ainsi un effet de « canalisation ».
Pour les matériaux polycristallins de composition uniforme et de surfaces planes polies, l'intensité des électrons rétrodiffusés dépend de l'orientation relative entre le faisceau d'électrons incident et les plans cristallins. Les grains présentant une plus grande variation d'orientation présentent des signaux plus forts, ce qui permet d'obtenir des images plus lumineuses. Une telle carte d'orientation permet une caractérisation qualitative.
>> Plusieurs modes de fonctionnement : Imagerie en champ clair (BF), Imagerie en champ sombre (DF), Imagerie en champ sombre annulaire à grand angle (HAADF)
>> Spectrométrie dispersive en énergie
>> Catholuminescence
Le logiciel de microscope SEM CIQTEK utilise divers algorithmes de détection et de segmentation de cibles, adaptés à différents types d'échantillons de particules et de pores. Il permet une analyse quantitative des statistiques des particules et des pores et peut être appliqué dans des domaines tels que la science des matériaux, la géologie et les sciences de l'environnement.
Effectuez un post-traitement d'images en ligne ou hors ligne sur des images capturées par des microscopes électroniques et intégrez des fonctions de traitement d'images EM couramment utilisées, des mesures pratiques et des outils d'annotation.
Reconnaissance automatique des contours de largeur de ligne, pour des mesures plus précises et une meilleure cohérence. Prise en charge de plusieurs modes de détection de contours, tels que Ligne, Espace, Pas, etc. Compatible avec de nombreux formats d'image et doté de diverses fonctions de post-traitement d'image courantes. Le logiciel est simple d'utilisation, efficace et précis.
Fournit un ensemble d'interfaces pour le contrôle du microscope MEB, incluant l'acquisition d'images, les réglages des conditions de fonctionnement, la mise sous/hors tension, le contrôle de la platine, etc. Des définitions d'interface concises permettent le développement rapide de scripts et de logiciels spécifiques au microscope électronique, permettant le suivi automatisé des zones d'intérêt, l'acquisition de données pour l'automatisation industrielle, la correction de la dérive d'image, etc. Peut être utilisé pour le développement logiciel dans des domaines spécialisés tels que l'analyse des diatomées, l'inspection des impuretés de l'acier, l'analyse de la propreté, le contrôle des matières premières, etc.
CIQTEK FESEM SEM5000X ultra-haute résolution |
À l'intérieur de l'usine CIQTEK : visite de la fabrication d'un microscope électronique |
Spécifications du microscope FESEM CIQTEK SEM5000X | ||
Optique électronique | Résolution |
0,6 nm à 15 kV, SE
1,0 nm à 1 kV, SE |
Tension d'accélération | 0,02 kV ~ 30 kV | |
Grossissement | 1 ~ 2 500 000 x | |
Type de canon à électrons | Canon à électrons à émission de champ Schottky | |
Chambre d'échantillons | Caméras | Double caméra (navigation optique + moniteur de chambre) |
Type de scène | Platine d'échantillon mécanique eucentrique à 5 axes | |
Gamme de scènes |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T : -10*~+70°, R : 360° |
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Détecteurs et extensions SEM | Standard |
Détecteur intégré à la lentille
Détecteur Everhart-Thornley (ETD) |
Facultatif |
Détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable (BSED) Détecteur rétractable pour microscopie électronique à transmission et balayage (STEM) Détecteur de vide faible (LVD) Spectromètre à dispersion d'énergie (EDS / EDX) Diagramme de diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) Sas d'échange d'échantillons (4 pouces / 8 pouces) Panneau de commande à boule de commande et bouton Mode Duo-Dec (Duo-Dec) |
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Interface utilisateur | Langues | Anglais |
Système opérateur | Windows | |
Navigation | Navigation optique, navigation rapide par gestes, trackball (en option) | |
Fonctions automatiques | Luminosité et contraste automatiques, mise au point automatique, stigmatisation automatique |