Le FIB-SEM à double faisceau CIQTEK DB550 réunit l'imagerie électronique haute résolution et le traitement de précision par faisceau d'ions sur une seule plateforme.
CIQTEK a validé son Microscope électronique à balayage à faisceau d'ions focalisé DB550 (FIB-SEM) sur des échantillons de puces réelles du nœud de processus 5 nm, Cette démonstration de la préparation d'échantillons TEM prêts pour la production révèle des structures d'ailettes intactes, une absence d'amorphisation et des couches de film clairement résolues. Les résultats confirment que le DB550 répond aux exigences rigoureuses des laboratoires d'analyse de défaillances de semi-conducteurs de pointe, travaillant à l'avant-garde des technologies de fabrication.
Dans la recherche et la fabrication de puces de pointe, deux outils sont plus importants que tous les autres. Le microscope électronique à transmission (MET) permet d'observer les structures à l'échelle atomique. Mais avant cela, il faut un échantillon suffisamment fin pour laisser passer les électrons. C'est là qu'intervient le microscope électronique à balayage à faisceau d'ions focalisés (FIB-SEM) à double faisceau. Cet outil de précision permet de préparer ces échantillons ultra-fins.
Découvrez le DB550 : une plateforme unique pour l’imagerie et le traitement à l’échelle nanométrique
Le CIQTEK DB550 FIB-SEM Cette plateforme unique intègre deux technologies de pointe. D'une part, un microscope électronique à balayage (MEB) permet l'imagerie de surface haute résolution. D'autre part, un faisceau d'ions focalisé (FIB) assure l'enlèvement de matière à l'échelle nanométrique avec une précision chirurgicale. Ensemble, ces technologies comblent le fossé entre l'observation et la fabrication à des dimensions de l'ordre du milliardième de mètre.
Au cœur de la DB550 se trouve un colonne électronique basse tension et haute résolution associé à la technologie exclusive de CIQTEK Colonne ionique « Chengying » Développée entièrement en interne, la colonne Chengying est l'élément clé qui permet au système de réaliser des opérations de découpe et de gravure à l'échelle nanométrique. CIQTEK maîtrise l'intégralité du processus de conception et de fabrication de ce composant essentiel.
Le défi des 5 nm : pourquoi la préparation des échantillons devient plus difficile à chaque nœud
À 5 nm et moins Les architectures de puces reposent sur des transistors à effet de champ à ailettes (FinFET) dont la largeur et l'espacement des ailettes se mesurent en nanomètres seulement. Le DB550 est conçu pour gérer l'intégralité du processus de préparation des échantillons pour ces nœuds de processus exigeants. Il commence par dégrossissage à courant élevé pour enlever rapidement les matériaux en grande quantité et atteindre la zone cible. Ensuite, il passe à polissage fin à basse tension amincir l'échantillon jusqu'aux dimensions requises pour l'observation au MET sans endommager les structures délicates sous-jacentes.
Validation par MET : La preuve est dans l’image
CIQTEK Nous avons préparé un échantillon de puce gravée en 5 nm sur le DB550 et l'avons transféré vers un microscope électronique à transmission (MET) pour caractérisation. Les résultats sont éloquents.
La caractérisation TEM d'un échantillon de puce de 5 nm préparé sur le DB550 montre des structures d'ailettes intactes avec des couches de film claires et bien définies et aucun dommage d'amorphisation.
Les images TEM ont révélé que Les structures des ailerons sont restées complètement intactes Après préparation par FIB, aucune amorphisation n'a été détectée dans le réseau cristallin du silicium. Les différentes couches du film sont apparues clair et nettement défini en coupe transversale TEM. Ces résultats valident les performances de préparation d'échantillons à double faisceau du DB550 sur les nœuds de processus les plus avancés.
Conçu pour la fiabilité, bâti pour durer
Les microscopes électroniques sont l'outil principal des laboratoires d'analyse des défaillances des semi-conducteurs. CIQTEK développe le DB550 de A à Z, couvrant l'ensemble de la pile technologique. matériel de base aux algorithmes sous-jacents La colonne ionique Chengying exclusive, l'optique électronique, la mécanique de la platine et le logiciel de contrôle sont tous conçus et optimisés comme un système intégré.
La maîtrise de la conception complète renforce la résilience de la chaîne d'approvisionnement. Chaque composant critique est approvisionné via le processus de développement contrôlé de CIQTEK. Pour les laboratoires de semi-conducteurs qui dépendent de la disponibilité de leurs instruments pour l'analyse du rendement de production et les investigations de défaillance, cette prévisibilité est essentielle.
CIQTEK soutient le DB550 avec assistance technique continue, fiable et réactive L'entreprise fournit également un support applicatif pour aider les laboratoires à développer et à optimiser les protocoles de préparation pour les nouveaux nœuds de traitement et les architectures de dispositifs novatrices.
